勻膠旋涂儀一般包括托盤安裝于腔室內(nèi)部，用于吸附基片；噴嘴，延伸入腔室內(nèi)部，用于將去離子水、有機(jī)溶劑或光刻膠噴射到基片上；微波發(fā)生裝置，安裝于腔室側(cè)壁，用于產(chǎn)生微波對基片提供熱量；溫控系統(tǒng)，安裝于腔室上壁，用于控制微波發(fā)生裝置以設(shè)定微波加熱的功率、頻率、時(shí)間。依照微波勻膠設(shè)備及其方法，采用微波加熱脫水，快速蒸發(fā)基片內(nèi)水分，降低涂膠工藝的時(shí)間成本、減小環(huán)境污染。此外微波干燥施加的熱量是從基片內(nèi)部逐漸擴(kuò)散到基片外部，從而減小干燥應(yīng)力，使薄膜涂層既具有低的孔隙度又有較好的強(qiáng)度，避免干凝膠的開裂。
 

　　影響勻膠旋涂儀性能的關(guān)鍵參數(shù)：

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：

　　轉(zhuǎn)速的高低和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造與清洗：

　　無憂真空泵壓力標(biāo)定要準(zhǔn)確，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基底吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。勻膠機(jī)的清洗問題，在使用完勻膠機(jī)后，在泵打開的前提下，要用有機(jī)溶液如：丙酮，酒精等清洗氣孔。

　　3、片托材質(zhì)的選擇：

　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，片托材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)片托采用的是鋁合金或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，鋁合金對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。